作為一種新型的氣體污染物處理技術(shù)，低溫等離子工業(yè)廢氣處理設(shè)備及技術(shù)是集物理、化學(xué)、環(huán)境科學(xué)于一體的交叉集成電子化學(xué)技術(shù)。由于污染物分子易于高效分解，處理能耗低，是國內(nèi)外空氣污染控制有前途、有效的技術(shù)方法。

　　低溫等離子工業(yè)廢氣處理設(shè)備及技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用和推廣前景，為VOC有機(jī)廢氣和惡臭氣體在工業(yè)領(lǐng)域的治理開辟了新的思路。

　　1、主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，端子放電形式產(chǎn)生高濃度離子。等離子體是一種聚合物材料，其高能電子立即穿透空氣和排氣分子，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度、高能量活動。

　　當(dāng)與機(jī)器廢氣中的分子發(fā)生碰撞時，堿與各種電子和離子發(fā)生了一系列的物理和化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生了各種活性自由基和生態(tài)氧，即原子氧產(chǎn)生的臭氧分解。

　　2、活性自由基能有效破壞各種病毒和細(xì)菌中的核酸和蛋白質(zhì)，使其無法正常代謝和生物合成，導(dǎo)致其死亡;生態(tài)氧能在血漿中迅速含有大量有機(jī)廢氣分子。

　　高能電子、正離子和負(fù)離子、刺激態(tài)粒子和氧化性強(qiáng)的后自由基。這些活性自由基和氧化性強(qiáng)的O3可以與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生無害產(chǎn)物。