工業(yè)廢氣中所含的大量污染物是我國空氣污染的重要原因，在環(huán)境污染方面付出了沉重的代價。如今人們認識到該問題的嚴重性，因此需要進行廢氣處理。

廢氣處理設備的工作原理是把氣體中的污染物分離出來，把它們轉(zhuǎn)化成無害的物質(zhì)，從而達到凈化氣體的目的。廢氣處理設備將惡臭物質(zhì)以曝氣的形式分散到含有活性污泥的混合物中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質(zhì)，應用領域廣泛。電子溫度(Te)≥離子溫度(Ti)，可達104K以上，而離子和中性粒子的溫度可低至300 ~ 500K。被吸附的氣體成分稱為吸附質(zhì)，多孔固體稱為吸附劑。但低溫等離子體是不平衡的，每個粒子的溫度不相同。

工業(yè)有機廢氣的低溫等離子體管理設備的燃燒法用來處理具有揮發(fā)性和有異味的化合物是非常有效的，其原理是用多余的燃料使這些雜質(zhì)燃燒，產(chǎn)生二氧化碳和水蒸氣可以排放到大氣中。